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주성, 미국에 MO CVD 공정용 장비 수출

2001-05-07 / 조회수 282

주성엔지니어링(대표 황철주)은 RF제품용 저온 capacitor 공정(MIM)에 적용되는 탄탈륨옥사이드 유기금속화학증착장비(TaO MO-CVD)에 대한 주문서를 최근 미국고객으로부터 접수하고, 양산검증을 거쳐 5월에 미국에 수출할 예정이다. 모델명 Eureka 2000으로 명명되는 이 제품은 대당 가격이 4백만불 이상의 고가로 5월 중순 경에 미국의 비메모리 반도체 생산업체에 공급될 예정이다. 주성은 올해 들어 일본과 대만시장에 신공정 제품을 수출한데 이어 미국시장에서도 성공적으로 차세대 주력제품을 수출하게 되어 명실공히 글로벌 기업으로서의 위치를 점해 나가고 있다.


주성은 작년 4/4분기 이래로 RF제품을 생산하는 십여개의 고객업체들과 본 장비에 대한 데모를 성공적으로 수행하고 있으며 최근 이런 유수의 반도체업체들의 관심을 끌고 있다. 주성의 한 관계자는 “주성의 탄탈륨옥사이드 기술은 진보된 공정기술 및 고객의 요구사항를 충족시키고 있고 이 장비의 출하로 인해 기존의 DRAM사업영역을 넘어서는 새로운 시장개척을 위한 타개책으로서의 그 중요성이 있다.”라고 의미를 두고 있다.