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주성, 미국 굴지의 소자업체에 장비 수출

2000-11-13 / 조회수 287

주성엔지니어링, 미국 굴지의 소자업체에 장비 수출

- 올 연말부터 해외수주실적 대폭 확대 예상


반도체 제조용 화학증착 (CVD) 공정장비 제조업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)은 자체 개발한 차세대 256M급 이상의 고집적 소자에 사용되는 “고 유전율 탄탈륨 옥사이드(Ta2O5)” 금속 유기화학 증착 장치와 관련 집적화 캐패시터 제조장치가 구비된 시스템인 “EUREKA 2000”을 해외에 수출한다.


주성엔지니어링은 최근 미국 굴지의 반도체 소자업체로부터 400만 달러 상당의 200mm 웨이퍼용 캐패시터 제조 시스템에 대한 주문을 접수했고, 올 12월초에 수출할 예정이라고 발표했다. 최근 대만의 유수 소자업체로부터 300mm용 CVD 장비를 수주한 주성은 이번 계약으로 일본, 대만에 이어 이른바 반도체의 본고장인 미국의 유수 소자업체에까지 장비를 수출하게 되었다.


주성은 현재 반구형 결정 실리콘(HSG) 증착공정 등 캐패시터 관련 공정의 200mm 웨이퍼용 장비시장에서 51%의 세계점유율을 기록하고 있으며, 이번 차세대 신기술의 Global 시험장인 미국시장의 진입으로 그 동안 주성이 심혈을 기울여 진행해오고 있는 신제품, 신기술에 대한 연구개발의 결과를 세계에서 인정 받았다는 데에 커다란 의미가 있다고 하겠다.


주성의 황철주 사장은 “이 수출을 바탕으로 금속화학 증착 장비는 물론이고 국내 시장에 공급하고 있는 프라즈마 화학증착 장비 등을 포함하는 신제품에 대한 해외시장 개척에 박차를 가할 예정이다”라고 밝히고, “2001년부터 해외수출에 의한 대폭적인 매출신장을 기대하고 있다”고 덧붙였다.