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주성, TFT LCD 화학증착 공정장치 개발

2000-04-04 / 조회수 325

반도체 장비업체인 주성엔지니어링(대표 황철주 黃喆周)이 국내 최초로 TFT LCD(박막트랜지스터 액정디스플레이) 화학증착 공정장치 개발에 성공했다.

주성의 TFT LCD 화학증착 공정장치는 현재 100% 외산인 마켓 상황에 큰 변화를 일으킬 것으로 예상된다. 6개월 여 간의 개발 기간을 거쳐 성공한 TFT LCD 공정장치는 외산 장비보다 부품 국산화율이 높아 제작 단가가 낮다. 현재 사용 중인 유리기판 최대 사이즈인 730 X 920mm용 공정 체임버를 장착하여 필요한 공정에 따라 체임버 종류와 갯수를 구성하는 클러스터 타입으로 한 체임버에서 3가지의 공정이 가능하고 3가지 막을 동시에 증착 할 수 있는 특징을 가지고 있다.

본 장치는 복잡한 구조의 샤워헤드를 사용하지 않고 인젝터를 사용하여 오염 요소를 최소화하였고 유지보수가 용이하도록 제작되었다. 또한 두께0.7mm 유리기판이 별도의 예열 과정 없이 해당 체임버에서 예열 가능해 공정 시간을 절감, 생산성을 향상시켰다. 특히 플라즈마 소스를 이용한 세정작업은 화학세정 빈도를 줄여 유지보수에 필요한 시간을 절감시키는 장점을 가지고 있다.

이영곤 영업담당 이사는 향후 주성의 TFT LCD 화학증착 공정장치가 국내 뿐 아니라 해외시장에서도 좋은 평가를 받을 것으로 기대하고 있으며 올 하반기부터 본격 매출을 예상하고 있다. 대당 50~60억에 이를 것으로 보이는 본 장비는 현재 국내 소자업체가 세계 시장을 주도하고 있는 여건으로 주성은 국내 매출 뿐 아니라 해외 매출도 무난히 달성할 수 있을 것으로 보고 있다.